中圖儀器SuperViewW1光學(xué)三維形貌輪廓測量儀基于白光干涉原理,，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,，以3D非接觸方式,，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸?？蓽y各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。

SuperViewW1光學(xué)三維形貌輪廓測量儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

性能特色

1、高精度,、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復(fù)性；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,，在設(shè)備調(diào)試,、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，最大限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險,。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

中圖儀器SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點,。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域,，不見一絲重疊縫隙。它具有測量精度高,、操作便捷,、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例：

部分技術(shù)指標(biāo)

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